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标题:光学轮廓仪在标准显微镜上使用-物镜的设计

信息分类:站内新闻   作者:yiyi发布   时间:2016-7-3 21:15:52 将本页加入收藏

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正文:

光学轮廓仪在标准显微镜上使用-物镜的设计

干涉光学轮廓仪
    干涉型光学轮廓仪在标准显微镜上使用内置干涉仪的物镜取代
了标准物镜。通过分析这些物镜获得的干涉信号,可以获得检测对
象的定量数据。干涉光学轮廓仪通常通过记录很多帧数据,来估算
每一个探测点上的表面高度。在测量过程中,干涉信号会随测量光
束与参考光束的光路变化而变化,
    用压电传感器或电动扫描来驱动物镜使其相对测试表面发生运
动得到相移或者垂直扫描技术可以实现这种变化。一些利用光源光
谱特性的方法可以避免机械扫描、如波长扫描、波长分散等。这些
方法的细节与被检测对象的类型有关。
    四种比较典型的干涉物镜装置是以迈克尔逊(Michelson)、米
劳(Mirau)、林尼克(Llinnik)、菲佐(Fizeau)干涉仪为基础的。在
为某一特定测量确定合适的物镜时,要考虑到很多因素。这些因素
包括放大倍数、更精确的数值孔径用以分辨样本特征、测量样本上
的斜率和高度。同时,需要选择能够测量样本上完整有用区域的放
大率。
    干涉物镜的设计受到系统的机械限制。四种典型物镜的区别在
于光束被分成参考光束和测量光束的方式。其中,除了菲佐物镜外
,参考镜都被放置在物镜的最佳聚焦点上,以便当样本被放置在焦
点上时能够获得最佳条纹对比度。为了得到最佳聚焦位置,必须首
先把测量对象放置在焦点上,然后移动参考镜直到获得最佳条纹对
比度的位置,这个位置就相当于最佳聚焦位置。最佳条纹对比度正
好对应着干涉仪内两个臂上物体的位置与参考镜之间的光程差(OPD
)为零。











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